MÁQUINAS Y APARATOS UTILIZADOS, EXCLUSIVA O PRINCIPALMENTE, PARA LA FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES EN FORMA DE MONOCRISTALES PERIFORMES U OBLEAS (WAFERS), DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES, CIRCUITOS ELECTRÓNICOS INTEGRADOS O DISPOSITIVOS DE VISUALIZACIÓN (DISPLAY) DE PANTALLA PLANA; MÁQUINAS Y APARATOS DESCRITOS EN LA NOTA 9 C) DE ESTE CAPÍTULO; PARTES Y ACCESORIOS