Classification opinions
… cible en métal très pur, aluminium, par exemple, subit un bombardement d'ions d'argon (introduits dans la chambre par … sur la pastille (« sputtering »). Sous l'action du gaz bombardant le disque cible, des atomes neutres (non chargés) … la cible par l'énergie cinétique (physique) des ions qui la bombardent. Une fois « décollés », ces atomes se dirigent et …